高纯耐蚀的关键材料:热解氮化硼(PBN)组件的定义与技术属性热解氮化硼(PBN, Pyrolytic Boron Nitride)组件是一类通过高温化学气相沉积(CVD)工艺在高纯氮气与三氯化硼反应条件下形成的高纯陶瓷材料制品。其晶体结构呈六方层状,兼具优异的耐高温、绝缘、抗化学腐蚀与高纯度特性。与传统烧结氮化硼不同,PBN具有致密的非多孔微观结构和极低杂质含量,可在高真空与强腐蚀环境下稳定工作至2000°C,因此广泛应用于化合物半导体晶体生长(如GaAs、GaN、InP、SiC)、MOCVD反应腔体、分子束外延(MBE)设备、离子注入机、OLED蒸发源及高温材料制备领域。典型的PBN组件包括...