半导体设备相关的词语~
compressor 压缩机
chiller 冷却器
tank 施法刻蚀的反应容器
cable 线缆，一般为铜，接通电源所用
ESC 静电卡盘
lifter pin 升降针
O ring 密封圈
generator 电源
2022-11-09 18:28 广西大学 机械工程师 发布于广东
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凯里学院 硬件测试 
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