上海微电子装备

2025年4月，位于上海张江高科技园区的一座无尘厂房内，中国自主研发的第五代超精密光刻机正式下线。这台外形酷似巨型金属柜的设备，重达83吨，高约4.2米，占地面积近40平方米，价值7.2亿元人民币。十年前，这样的设备只能依赖进口，交付周期长达24个月，甚至出现"有钱难买"的局面。如今，中国已经实现量产，打破了日本企业在这一领域长达30年的技术垄断。这一突破不仅标志着中国高端制造业迈入新阶段，更意味着全球高科技产业格局正在发生深刻变革。光刻机被誉为"工业母机中的明珠"，是制造芯片的核心装备。它通过将电路图案精确投影到硅晶圆上，创造出比头发丝细几千倍的电路，...